制造商:美國(guó)
主要功能: 點(diǎn)膠、貼片、共晶焊、倒裝焊、環(huán)氧蘸膠">

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IC激光修調(diào)工藝設(shè)備

激光封焊設(shè)備

晶圓激光退火設(shè)備

晶圓激光劃片剝離設(shè)備

金屬電鍍工藝設(shè)備

PARYLENE鍍膜設(shè)備

高精度貼片機(jī)

旋涂機(jī)

平行縫焊機(jī)

離子污染測(cè)試儀

噴涂點(diǎn)膠機(jī)

固化設(shè)備

金屬剝離濕法工藝設(shè)備

開帽機(jī)

高精度貼片機(jī)【S-HVM】

MRSI-S-HVM超精密組裝系統(tǒng)
制造商:美國(guó)
主要功能: 點(diǎn)膠、貼片、共晶焊、倒裝焊、環(huán)氧蘸膠

  •        全自動(dòng)、高速、高精度、靈活多功能的貼片系統(tǒng)。為激光器、探測(cè)器、調(diào)制器、AOC、WDM/EML TO-Can、光收發(fā)器、LiDAR、VR/AR、傳感器和光學(xué)成像等產(chǎn)品的研發(fā)、小到中等批量生產(chǎn), 直至大批量生產(chǎn)提供“一站式”解決方案。為所有級(jí)別的封裝提供最有效的系統(tǒng)和組裝解決方案,其中包括晶片芯片(CoW)、載體上芯片(CoC)、PCB、TO和管殼封裝。

  •        MRSI-S-HVM是為集成光子器件量產(chǎn)制造的應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,可用于半導(dǎo)體晶圓級(jí)封裝,可實(shí)現(xiàn)多芯片、多工藝在一臺(tái)機(jī)器上生產(chǎn)。兩種精度自動(dòng)切換模式: ±0.5 微米 @ 3σ, ±1.5 微米 @  3σ,Z軸拾貼力可控。該系列支持多工藝,包括DAF、共晶、環(huán)氧蘸膠和點(diǎn)膠,局部加熱模式可以從頂部或底部加熱,以及MRSI專利的底部激光加熱;可直接對(duì)準(zhǔn)倒裝芯片和基板上的基準(zhǔn),不需要額外的參考點(diǎn)或校準(zhǔn)。MRSI 專利的晶圓平臺(tái),具有自動(dòng)調(diào)平功能。MRSI-S-HVM系列繼承了MRSI-HVM所有的并行工序,包括MRSI 專利的自動(dòng)吸頭切換和雙龍門/貼片頭結(jié)構(gòu)。材料輸入方法包括wafer, Waffle pack, Gel-Pak®,以及定制的夾具。

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