制造商:中國(guó)(中科鐳特)
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IC激光修調(diào)工藝設(shè)備

激光封焊設(shè)備

晶圓激光退火設(shè)備

晶圓激光劃片剝離設(shè)備

金屬電鍍工藝設(shè)備

PARYLENE鍍膜設(shè)備

高精度貼片機(jī)

旋涂機(jī)

平行縫焊機(jī)

離子污染測(cè)試儀

噴涂點(diǎn)膠機(jī)

固化設(shè)備

金屬剝離濕法工藝設(shè)備

開(kāi)帽機(jī)

晶圓激光退火設(shè)備

LT200A 激光晶圓激光退火設(shè)備
制造商:中國(guó)(中科鐳特)
主要功能:晶圓激光退火

  •        LT200A 是一臺(tái)智能化的晶圓激光退火系統(tǒng)。主要應(yīng)用于晶圓的熱處理工藝,包括晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備圖像定位系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、溫度智能檢測(cè)、全自動(dòng)上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫(kù)自動(dòng)調(diào)用系統(tǒng)。

  • 技術(shù)特點(diǎn)

    高性能激光器

    激光器、光束質(zhì)量好、穩(wěn)定性好、單脈沖能量高。
    優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)

    光束整形,定制的平頂光斑提高退火溫度一致性和加工效率。
    完全自動(dòng)執(zhí)行

    機(jī)器視覺(jué)定位,精度高,無(wú)需人工干預(yù),操作簡(jiǎn)單,效率高。
    激光防護(hù)系統(tǒng)

    符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的激光防護(hù)結(jié)構(gòu),保證操作人員安全。

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